- multitarget sputterer
- Электроника: установка для катодного распыления с несколькими мишенями, установка катодного распыления с несколькими мишенями
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.